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发展历程
九年磨一镜 风雨见昆仑

    2007

  • 8月

    于应用光学国家重点实验室组建02专项高端光刻机曝光光学系统项目论证团队。专项论证工作启动

  • 2008

  • 7月

    长春光机所项目论证团队与上海光机所项目论证团队组成曝光光学系统联合论证团队,其中,长春团队总体牵头并负责投影物镜系统研发论证,上海团队负责照明系统研发论证。专项论证工作进入分工协作阶段

  • 2009

  • 7月

    02专项高端光刻机曝光光学系统一期项目——“高NA浸没光学系统关键技术研究”项目获批正式启动。我国高端光刻机曝光光学系统研制进入技术研发阶段

  • 2012

  • 5月

    物镜研发超精密光学实验室正式投入运行。物镜研发技术攻关验证工作全面展开

  • 2013

  • 9月

    曝光光学系统研发工作通过整机单位组织的CDR(详细设计评审)。物镜系统与照明系统研发进入制造阶段

  • 11月

    物镜研发团队正式组建为长春光机所超精密光学工程研究中心。物镜研发工作转入中心继续开展

  • 2014

  • 8月

    02专项光学公司-长春国科精密光学技术有限公司注册成立

  • 2016

  • 1月

    02专项高端光刻机曝光光学系统二期项目——“浸没式光刻机光学系统产品研制与批量生产能力建设” 获批正式启动

  • 7月

    长春国科精密光学技术有限公司完成股权结构重组

  • 9月

    我国首套NA0.75光刻投影物镜通过整机单位的系统性能测试,并实现交付

  • 12月

    物镜研发团队全部转入长春国科精密光学技术有限公司。我国高端光刻机曝光光学系统研制工作进入产业化实施阶段

  • 2017

  • 4月

    我国首套NA0.75光刻照明系统通过整机单位的系统性能测试,并实现交付

  • 7月

    公司总部迁入超精密光学实验楼(长春市东南湖大路3608号)