国科精密在极高精度元件镀膜面形保障、低损耗深紫外光学薄膜制备、大口径曲面膜厚均匀性控制、精修元件离子束溅射常温镀膜、长期激光辐照使用寿命评估等关键技术方面获得全面突破，关键性能指标，如T=99.8%@193nm的双面透过率、镀膜后达0.1nm的元件面形精度等，达到或超过国际报道最佳结果。

图1：N[**]0.75投影物镜元件镀膜后面形统计结果

图2：通过优化镀膜工艺实现了曲面元件光学性能的径向一致性