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高端光学制造服务
光学检测

国科精密拥有高精度大口径Fizeau型干涉仪、白光干涉仪、原子力显微镜和配套的高精度温控(优于±0.02℃)检测实验室,可提供全频段(低频、中频、高频、超高频)深亚纳米精度平球面和非球面光学表面检测;同时也拥有Luphoscan非球面检测仪、轮廓仪、三坐标和ASI拼接干涉仪等高性能检测设备,可满足各种非球面、自由曲面等异形表面的非接触式和接触式三维光学扫描测量、子孔径拼接检测等检测需求。


检测指标

Ø 平球面

n 直接检测: 检测口径:平面<300mm,球面<500mm  检测精度<0.15nm RMS

n 拼接检测: 检测口径<500mm  检测精度<15nm RMS

Ø 非球面

n 直接检测:   检测口径<300mm  检测精度<λ/6 PV

n CGH 和补偿镜(NULL Lens):  检测口径<500mm 检测精度<0.3nm RMS

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