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亚纳米级精度的超精密光学技术
超精密驱动控制与信息处理

超精密驱动控制技术是精密光学系统研制的核心关键技术之一。通过微位移驱动器运动控制技术和高精度传感器标定技术,实现对物镜光学系统像质的实时在线调节及离线维护。


光机系统集成与装调

团队基于对超精密微位移控制技术和微环境控制技术的研究及攻关,建立了一套压电驱动器闭环运动控制算法及PZT模糊迟滞模型的建模方法,有效降低了压电驱动器迟滞非线性的影响,提高了压电驱动器响应速度与控制精度;建立了一种提高电容传感器测量线性度的方法,线性度标定后传感器线性度提高至0.00484%。

目前团队拥有齐全的超精密微位移测试平台、半实物仿真平台、传感器与驱动器测试系统、电子学仪器仪表、工控机箱、高精度温度控制单元、高精度温度/压力传感器,温度标定平台等,涵盖微位移传感器测试与标定、精密压电驱动器测试平台、嵌入式电子学实验平台、嵌入式软件测试平台、高精度电子学测量仪器仪表、高精度温度测量及校准。配套满足超精密运动控制技术需求,能够全面支撑超精密光学系统的微位移运动需求。