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面向IC光刻投影光学系统的超精密光学技术
精密微位移与微环境控制技术

超精密微位移与微环境控制技术是精密光学系统研制的核心关键技术之一。通过微位移驱动器运动控制技术和高精度传感器标定技术,实现对物镜光学系统像质的实时在线调节及离线维护。微环境控制技术通过对温度、气压、流量等环境参数高精度采集和控制,保障了投影物镜光学系统的成像质量和性能。

团队基于对超精密微位移控制技术和微环境控制技术的研究及攻关,建立了一套压电驱动器闭环运动控制算法及PZT模糊迟滞模型的建模方法,有效降低了压电驱动器迟滞非线性的影响,提高了压电驱动器响应速度与控制精度;建立了一种提高电容传感器测量线性度的方法,线性度标定后传感器线性度提高至0.00484%。建立了一种温度控制系统和控制算法,保证了投影物镜在多重干扰及多重时滞、大惯性的情况下,长时间温度稳定性达到±0.01℃

目前团队拥有齐全的超精密微位移测试平台、半实物仿真平台、传感器与驱动器测试系统、电子学仪器仪表、工控机箱、高精度温度控制单元、高精度温度/压力传感器,温度标定平台等,涵盖微位移传感器测试与标定、精密压电驱动器测试平台、嵌入式电子学实验平台、嵌入式软件测试平台、高精度电子学测量仪器仪表、高精度温度测量及校准。配套满足超精密运动控制技术和微环境控制技术需求,能够全面支撑超精密光学系统的微位移运动和微环境控制需求。

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