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亚纳米级精度的超精密光学技术
超精密机械结构/机构设计

对于光刻投影物镜等精密光学系统,需要利用机械结构对光学镜片进行精确空间定位与高精度面形支撑,并通过运动机构实现特定光学元件的精密空间位置调节,以满足物镜系统集成装调需求及在线功能性补偿需求。

针对IC光刻投影物镜研发工作,团队先后突破了超精密单镜结构设计与高精度胶合集成技术、高精度大口径曲面光阑设计技术、超精密轴向与偏心调节机构设计与制造技术、超精密六自由度调节机构设计与加工技术。光学元件集成后面形精度优于1nm(RMS),调节机构调整精度优于20nm。 

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元件支撑后的面形(0.8nm RMS)                         超精密调节机构及其测量装置