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高端光学制造服务
精密光学元件镀膜


超精密光学元件薄膜设计、制备与测试

描述:

Ø 制造能力

普通元件:Φ500mm

超精密光学元件(面形精度优于λ/30)/滤光片(复杂光谱指标需求):Φ500mm

特色产品:紫外/深紫外(115~350nm)滤光片/光学元件定制镀膜

Ø 镀膜工艺及辅助设备热蒸发/IAD(莱宝、光驰)、离子束溅射(Veeco)、大口径元件超声清洗机(Φ300)

Ø 膜系设计Macleod、Optilayer、Filmstar等软件,可实现复杂膜系设计;自研膜厚均匀性分析软件,满足大口径曲面膜厚均匀性校正要求。

Ø 薄膜检测

n    光学指标:分光光度计(Cary7000、Lambda1050)、椭偏仪(WASE)、激光量热仪

表面质量检测:光学显微镜、白光干涉仪、原子力显微镜

其它指标:X射线衍射仪、膜厚仪

力学性能/环境适应性测试:薄膜应力仪、薄膜附着力检测、环境实验(高温、盐雾等)

场景:元件镀膜/检测实拍画面    


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