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高端光学制造服务
光学镀膜

国科精密具有超精密光学元件薄膜设计、制备与测试能力, 可提供紫外-红外波段的热蒸发与离子束溅射光学镀膜,可特别满足超精密光学元件(例如面形精度优于1nm)与紫外应用的镀膜需求。 


制造能力

Ø 普通元件:Φ500mm;

Ø 超精密光学元件(面形精度优于λ/30)/滤光片(复杂光谱指标需求):Φ500mm;

Ø 特色产品:紫外/深紫外(115~350nm)滤光片/光学元件定制镀膜。

镀膜工艺及辅助设备

热蒸发/IAD(莱宝、光驰)、离子束溅射(Veeco)、大口径元件超声清洗机(Φ300)

膜系设计

Macleod、Optilayer、Filmstar等软件,可实现复杂膜系设计;自研膜厚均匀性分析软件,满足大口径曲面膜厚均匀性校正要求。

薄膜检测

Ø 光学指标:分光光度计(Cary7000、Lambda1050)、椭偏仪(WASE、RC2 )、激光量热仪;

Ø 表面质量检测:光学显微镜、白光干涉仪、原子力显微镜;

Ø 其它指标:X射线衍射仪、膜厚仪;

Ø 力学性能/环境适应性测试:薄膜应力仪、薄膜附着力检测、环境实验(高温、盐雾等)。

光学镀膜