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高端光学检测产品
标准镜头

标准镜头是菲索干涉仪的核心部件,是面形检测的基准,其面形及波前质量直接决定了光学元件面形的测量精度。本公司的标准镜头系列产品主要面向纳米级的光学元件检测,并已在国家科技重大专项——02专项的曝光光学系统研制任务中得到应用。

标准镜头


特性描述                                       

Ø 高精度:λ/20λ/30及更高

Ø 全口径:2英寸、4英寸、6英寸、12英寸

Ø 可定制:汇聚及发散镜头的各F数定制




规格参数

    4 inch 标准镜系列

入瞳直径

100mm(4“ )

工作波长

632.8nm

型号

CNEPO Datum TS04HXXA

TF04HA

F数

F0.75

F1.5

F2.2

F3.3

F5.0

F57.1

F11

TF

0.75

1.5

2.2

3.3

5.0

7.1

11.0

/

参考面曲率半径(mm)

48

121

195

298

470

682

1086

凸面的最大测量口径(mm)

65

93

89

89

94

98

98

平面

凸面的最大测量半径(mm)

45

115

190

282

465

674

1078

平面

波前误差(PV)

﹤1.5λ

﹤1.5λ

﹤1.0λ

﹤1.0λ

﹤1.0λ

﹤0.5λ

﹤0.5λ

﹤0.2λ

参考面精度(PV)

λ/10、λ/20、λ/40

参考面材料

熔石英

参考面反射率

~4%

工作温度

22℃±8℃

接口

Zygo@bayonet style(也可定做其他接口)

    6 inch 标准镜系列

入瞳直径

152mm(6“ )

工作波长

632.8nm

型号

CNEPO Datum TS06HXXA

TF06HA

F数

F0.8

F1.1

F2.2

F3.5

F5.4

F7.2

F11

TF

0.8

1.1

2.2

3.5

5.4

7.2

11.0

/

参考面曲率半径(mm)

80

123

290

476

776

1045

1600

凸面的最大测量口径(mm)

104

128

164

164

164

164

155

平面

凸面的最大测量半径(mm)

77

118

274

458

761

1022

1590

平面

波前误差(PV)

﹤1.5λ

﹤1.0λ

﹤0.5λ

﹤1.0λ

﹤0.5λ

﹤0.5λ

﹤0.5λ

﹤0.2λ

参考面精度(PV)

λ/10、λ/20、λ/40

参考面材料

熔石英

参考面反射率

~4%

工作温度

22℃±8℃

接口

Zygo@bayonet style(也可定做其他接口)

CNEPO Datum TS06H2.2A 标准镜测试结果

CNEPO Datum TS06H2.2A 镜头测试结果