标准镜头是菲索干涉仪的核心部件，是面形检测的基准，其面形及波前质量直接决定了光学元件面形的测量精度。本公司的标准镜头系列产品主要面向高精度的光学元件检测。
特性描述
Ø 高精度：λ/20、λ/30及更高
Ø 全口径：2英寸、4英寸、6英寸、12英寸
Ø 可定制：汇聚及发散镜头的各F数定制
规格参数
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入瞳直径 |
100mm(4“ ) |
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工作波长 |
632.8nm |
|||||||
|
型号 |
CNEPO Datum TS04HXX[**] |
TF04H[**] |
||||||
|
F数 |
F0.75 |
F1.5 |
F2.2 |
F3.3 |
F5.0 |
F57.1 |
F11 |
TF |
|
0.75 |
1.5 |
2.2 |
3.3 |
5.0 |
7.1 |
11.0 |
/ |
|
|
参考面曲率半径(mm) |
48 |
121 |
195 |
298 |
470 |
682 |
1086 |
∝ |
|
凸面的最大测量口径(mm) |
65 |
93 |
89 |
89 |
94 |
98 |
98 |
平面 |
|
凸面的最大测量半径(mm) |
45 |
115 |
190 |
282 |
465 |
674 |
1078 |
平面 |
|
波前误差(PV) |
﹤1.5λ |
﹤1.5λ |
﹤1.0λ |
﹤1.0λ |
﹤1.0λ |
﹤0.5λ |
﹤0.5λ |
﹤0.2λ |
|
参考面精度(PV) |
λ/10、λ/20、λ/40 |
|||||||
|
参考面材料 |
熔石英 |
|||||||
|
参考面反射率 |
～4% |
|||||||
|
工作温度 |
22℃±8℃ |
|||||||
|
接口 |
Zygo@bayonet style(也可定做其他接口) |
|||||||
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入瞳直径 |
152mm(6“ ) |
|||||||
|
工作波长 |
632.8nm |
|||||||
|
型号 |
CNEPO Datum TS06HXX[**] |
TF06H[**] |
||||||
|
F数 |
F0.8 |
F1.1 |
F2.2 |
F3.5 |
F5.4 |
F7.2 |
F11 |
TF |
|
0.8 |
1.1 |
2.2 |
3.5 |
5.4 |
7.2 |
11.0 |
/ |
|
|
参考面曲率半径(mm) |
80 |
123 |
290 |
476 |
776 |
1045 |
1600 |
∝ |
|
凸面的最大测量口径(mm) |
104 |
128 |
164 |
164 |
164 |
164 |
155 |
平面 |
|
凸面的最大测量半径(mm) |
77 |
118 |
274 |
458 |
761 |
1022 |
1590 |
平面 |
|
波前误差(PV) |
﹤1.5λ |
﹤1.0λ |
﹤0.5λ |
﹤1.0λ |
﹤0.5λ |
﹤0.5λ |
﹤0.5λ |
﹤0.2λ |
|
参考面精度(PV) |
λ/10、λ/20、λ/40 |
|||||||
|
参考面材料 |
熔石英 |
|||||||
|
参考面反射率 |
～4% |
|||||||
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工作温度 |
22℃±8℃ |
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|
接口 |
Zygo@bayonet style(也可定做其他接口) |
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CNEPO Datum TS06H2.2[**] 标准镜测试结果
![CNEPO Datum TS06H2.2[**] 镜头测试结果](res/201805/25/auto_1236.jpg "CNEPO Datum TS06H2.2[**] 镜头测试结果")
