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超精密光学技术
亚微米精度机械加工与检测

为支撑超精密光机结构设计与实现,团队开展高精度车削加工、磨削加工、电火花放电加工、光学元件高精度定心加工等关键技术与工艺的研究工作;建立了超精密机械加工制造平台,拥有各类高精度加工设备近20台套。依托该平台,针对物镜研制开发了专门的组合加工工艺。物镜镜框的加工精度:平面度优于0.8μm,平行度优于1.2μm;物镜隔圈的加工精度等厚值优于0.6μm。


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超精密车削的最大加工口径1000mm,加工精度在0.5μm~2μm以内,通过切削力监测、在线高精度非接触测量等,积累了丰富的加工工艺参数库,可精密加工不同材质、不同硬度的零件,表面光洁度达Ra 0.1μm,可以取代传统磨削加工。典型应用主要包括大尺寸高精度轴承环、高精度模具、大尺寸高精度盘类零件等。

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