为支撑超精密光机结构设计与实现，团队开展高精度车削加工、磨削加工、电火花放电加工、光学元件高精度定心加工等关键技术与工艺的研究工作；建立了超精密机械加工制造平台，拥有各类高精度加工设备近20台套。依托该平台，针对物镜研制开发了专门的组合加工工艺。物镜镜框的加工精度：平面度优于0.8μm，平行度优于1.2μm；物镜隔圈的加工精度等厚值优于0.6μm。

超精密车削的最大加工口径1000mm，加工精度在0.5μm~2μm以内，通过切削力监测、在线高精度非接触测量等，积累了丰富的加工工艺参数库，可精密加工不同材质、不同硬度的零件，表面光洁度达Ra 0.1μm，可以取代传统磨削加工。典型应用主要包括大尺寸高精度轴承环、高精度模具、大尺寸高精度盘类零件等。