国科精密在极高精度元件镀膜面形保障、低损耗深紫外光学薄膜制备、大口径曲面膜厚均匀性控制、精修元件离子束溅射常温镀膜、长期激光辐照使用寿命评估等关键技术方面获得全面突破,达到国际领先水平。
图1:通过优化镀膜工艺实现了曲面元件光学性能的径向一致性